中科飞测

专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发,生产和销售,产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列,图形晶圆缺陷检测设备系列,三维形貌量测设备系列,薄膜膜厚量测设备系列等产品,已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线.